Autorzy przedstawili sposób modelowania membran krzemowych, siłowników termicznych, siłowników elektrotermicznych, akcelerometrów i mikrobolometrów pokazując poszczególne etapy modelowania każdego z  tych komponentów mikrosystemowych i przykładowe wyniki obliczeń.

Praca podzielona na 8 rozdziałów obejmujących wprowadzenie, ogólny opis systemu ANSYS oraz 6 rozdziałów opisujących sposób modelowania lub  projektowania wybranych komponentó mikrosystemów,